層流罩的懸浮粒子測(cè)試條件:
1、層流罩吸風(fēng)口≥0.5μm粒子濃度不得小于35000粒/L。
2、層流罩吸風(fēng)口處的粒子濃度測(cè)試,需要在測(cè)試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)粒子濃度的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行,需測(cè)5次。
3、檢測(cè)儀器:CLJ-BII型(DC)塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
層流罩的懸浮粒子測(cè)試方法:
1、關(guān)閉凈化空調(diào),使室內(nèi)≥0.5μm粒子濃度大于350 00粒/L,且吸風(fēng)口≥0.5μm粒子濃度不得小于350 00粒/L。
2、當(dāng)吸風(fēng)口處的粒子濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下,在距主過濾器或整流格柵出口250 mm的平行斷面的中心處連續(xù)測(cè)試5次,求其平均值。
3、當(dāng)測(cè)試時(shí)有5μm粒子出現(xiàn)時(shí),應(yīng)進(jìn)行多次采樣,當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí),才認(rèn)為該測(cè)試數(shù)值是可靠。
4、可接受標(biāo)準(zhǔn):≥0.5μm粒子濃度小于3.5粒/L,不準(zhǔn)許有≥5μm粒子。
5、檢測(cè)結(jié)果記錄表錄入。