1. 自動化與無塵化
a.設立自動化傳送系統，可減少職員方面所帶來的污染，唯用度相當昂貴，須詳加評估。
b.建立管制項目如進進無塵室職員的資格限定，無塵室作業職員作業規則，無塵室治理規則等。
在無塵室之維護治理方面，可分三部分加以說明：
1) 建筑物之維護治理：
a.建筑物內定期檢查清潔。
b.地板之清掃治理及損壞更新。
c.隔間墻及天花板檢查清潔和封補。
d.窗戶及門之保養等。
2) 環境測定與治理：
無塵室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應逐日定期量測，以確實把握質量，若有數據異常，可立即做緊急處理。
3) 防塵空調設備之維護治理：
a.溫、濕度及塵埃濃度治理，在前面以述及，唯其量測儀器應做定期校正檢驗，若有設備移動或施工時須做局部丈量。
b.空氣過濾器之治理：定期檢查及更換，表6為各種過濾網之檢查及更換周期。
c.空氣調節器治理：定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象。
2. 空氣除濕機
除濕機又稱為抽濕機，一般可分為家用除濕機和工業除濕機兩大類，屬于制冷空調家庭中的一個小成員。通常，除濕機由壓縮機、熱交換器、風扇、盛水器、機殼及控制器組成，其工作原理是：由風扇將潮濕空氣抽入機內，通過熱交換器，此時空氣中的水份冷凝成水珠，變成干燥的空氣排出機外，如此循環使室內濕度降低。
3. 溫濕度計
用來測定環境的溫度及濕度，以確定產品生產或倉儲的環境條件。也應用于人們日常生活。應用較為廣泛。 當空氣中有很多水氣時，我們說空氣是潮濕的。
4. 交換倉        
室內物品與室外物品交換放置的地方，它里面有恒定的氣流，可以清除放入部品表面的灰塵異物。
5. 吸氣導管與集塵器
主要用于吸取生產過程中產生的灰塵異物，收集并保存異物，方便分析異物成分，有效的去控制無塵室內異物的進入渠道。
6. 靜電風扇          
通過靜電風扇可以吹干凈長時間放置的部品表面上的灰塵異物。
7. 隱形膠帶
可以粘取部品表面的異物并且不會留下任何粘合劑。
8. 進口特殊橡皮泥
在生產中用螺絲刀打螺絲，螺絲刀頭上會產生鐵屑，粘取在橡皮泥上就可以有效的使螺絲刀頭上保持清潔。